講演情報

[9p-PA1-8]結晶方位の異なるSi基板上に成長させたSnO薄膜の評価

〇辛 佳和1、池田 琉晟1、相川 慎也1 (1.工学院大工)

キーワード:

一酸化スズ、p型酸化物半導体、層状構造