講演情報
[2C03]最小限の設備で行う半導体の作製実習の開発ならびに授業での導入事例
○井戸川 槙之介1、渡部 勝喜2、小林 奈和3、倉川 菜英3、山田 昌尚1、大塚 友彦1 (1. 釧路工業高等専門学校創造工学科、2. 釧路工業高等専門学校教育研究支援センター、3. 釧路工業高等専門学校専攻科電子情報システム工学専攻)
キーワード：
工学教育、半導体作製実習、高専
半導体技術者を育成するための高専向け作製実習教材の開発・授業導入を行った．開発した教材は最小限の薬品，設備で行え，初学者でもなじみのあるダイオードの作製実習，より高度なものとして学生の自由な発想を実現する半導体作製実習の開発・導入を行った．
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