混相6

15:20 〜 15:40

[6-05] 回転円板端からの液跳ね挙動の数値シミュレーションと実験観察による評価

*相原 慎太郎¹、石丸 瑛¹、松田 健^1,2、松井 則政¹、武藤 真和²、玉野 真司² (1. 株式会社SCREENホールディングス、2. 名古屋工業大学)

キーワード：

半導体洗浄、液膜、二相流、OpenFOAM、VOF