2024年度量子ビームサイエンスフェスタ
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[090G]
半導体デバイスの電気的特性を視覚化する
オペランド光電子顕微鏡の開発
*ピアテンコ エリザベス
1
、野澤 俊介
1
、福本 恵紀
1
(1. KEK IMSS)
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