[P1] ポスター A-Q

[G045] 連続的な膜厚勾配を有する試料の一括評価を可能とする傾斜蒸着装置の開発と応用

*菊地 計秀¹、香田 達広¹、関内 峻平¹、間瀬 一彦^2,3、小澤 健一^2,3、中山 泰生¹、服部 寛之¹ (1. Tokyo University of Science, 2. KEK Photon Factory, 3. The Graduate University for Advanced Studies,)