講演情報

[B-10A_B-13-08]楕円偏光参照光を用いた受動光学系によるナノ変位計測方式

◎伊藤 アユミ1、岡村 康弘1、塙 雅典1 (1. 山梨大学)
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キーワード:

楕円偏光、変位計測、ナノメートル、ディジタルコヒーレント受信、偏光間位相差、複屈折