[C-11] シリコン材料・デバイス

11:30 〜 11:45学術奨励賞候補キャリアエクスプローラー

[C-11-01] シリコンウェーハ表面への機能性マイクロ・ロールの作製と構造制御

◎△芦久保 陽大¹、鈴木 俊明¹、丹羽 雅昭¹、本橋 光也¹ (1. 東京電機大学)

キーワード：

シリコンロール、シリコンチューブ、陽極酸化、微細構造制御