[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

11:30 〜 12:00

[C-3_C-4-03] （依頼講演30分）光ナノインプリント装置を用いた光電コパッケージ用光配線試作

〇中村 文¹、鈴木 健太¹、乗木 暁博¹、須田 悟史¹、黒須 隆行¹、天野 建¹ (1. 産業技術総合研究所)

キーワード：

光電コパッケージ、シリコンフォトニクス、ポリマー導波路、光電融合、ナノインプリント