[CI-4] バイオセンシング技術の新展開

11:15 〜 11:45

[CI-4-06] Si-MEMS技術による微小機械構造を用いた生体情報センシング

〇寒川 雅之¹ (1. 新潟大学)

キーワード：

MEMS、触覚センサ、バイオセンサ、カンチレバー