2024年電子情報通信学会ソサイエティ大会
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講演情報

11:15 〜 11:45

[CI-4-06]Si-MEMS技術による微小機械構造を用いた生体情報センシング

〇寒川 雅之1 (1. 新潟大学)
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キーワード：

MEMS、触覚センサ、バイオセンサ、カンチレバー

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