講演情報

9:00 〜 9:15

[C-2B-18]ミリ波円筒空洞共振器法による薄膜塗布基板の実効複素誘電率測定

〇清水隆志¹ (1. 宇都宮大学)

円筒空洞共振器法、薄膜、複素誘電率、ミリ波

本報告では、ミリ波円筒空洞共振器法により、低損失LCPフィルム基板上に薄膜を塗布した試料の実効複素誘電率を36GHz帯で測定し、数µm級薄膜塗布による特性変化の検出について検討した。その結果、2µm程度の薄膜塗布試料でも、基板単体との間に実効複素誘電率の明確な差異が確認された。