[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

9:45 〜 10:00学術奨励賞候補対象

[C-3_C-4-03] SOI基板上異種材料/MEMS統合集積に向けたMEMS波長制御デバイスにおけるプロセスの検討

◎櫻井 大生¹、土屋 良重²、中村 恵太¹、大磯 義孝¹、Yao Kaibin¹、Chen Haoyu¹、Moataz Eissa¹、堀川 剛¹、川原 啓輔¹、西山 伸彦^1,3 (1. 東京科学大、2. サザンプトン大、3. 東京科学大学次世代半導体エコシステム共創センター)

キーワード：

集積光デバイス

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