講演情報
[C-3_C-4-05]SiN薄膜を用いた石英系PLC集積型広帯域偏光子
◎近藤 史将1、森本 祥江1、山口 慶太1、橋詰 泰彰1、森脇 摂1 (1. NTT)
キーワード:
石英平面光波回路、偏光子、偏波消光比
偏波多重送受信器や偏波ダイバーシティ回路では、偏波ビームスプリッタで分離しきれずに残留する不要偏波成分が、偏波クロストークや後段回路の特性劣化の要因となる。本報告では、石英系平面光波回路のリッジ側壁に窒化シリコン薄膜を形成したTM透過型偏光子を作製し、実測により過剰損失1 dB以下、偏波消光比40 dB以上の特性を確認した。
