[C-3_C-4] 光エレクトロニクス/レーザ・量子エレクトロニクス

9:15 〜 9:30

[C-3_C-4-11] RCWA 法を用いた裏面入射型フォトダイオードの受光感度向上検討

〇篠原 弘介¹、和泉 孝紀¹、竹村 亮太¹、山口 晴央¹、石村 栄太郎¹ (1. 三菱電機株式会社)

キーワード：

フォトダイオード、RCWA、フォトニック結晶

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