[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

10:00 〜 10:15学術奨励賞候補対象

[C-3_C-4-33] 電極実測に基づく水晶基板上a-Si装荷TFLN光変調器の300-Gbps伝送解析

◎三浦 和也¹、川原 啓輔¹、堀川 剛¹、Moataz Eissa¹、大礒 義孝¹、矢島 隆雅²、片桐 佳来²、西山 伸彦^1,3 (1. 東京科学大学工学院 電気電子系、2. NGK株式会社、3. 次世代半導体エコシステム共創センター)

キーワード：

光変調器、薄膜ニオブ酸リチウム、スローウェーブ電極、水晶基板、等価回路モデル

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