[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

14:45 〜 15:00学術奨励賞候補対象キャリアエクスプローラー

[C-3_C-4-43] Pt-SiO₂膜装荷Si微小リング共振器型水素ガスセンサの高感度化

◎△齋藤 琉輝¹、佐藤 歩¹、岡崎 慎司¹、西島 喜明^1,2、荒川 太朗^1,2 (1. 横浜国立大学大学院 理工学府・工学研究院、2. 半導体・量子集積エレクトロニクス研究センター)

キーワード：

シリコンフォトニクス、微小リング共振器、水素センサ

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