[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

15:15 〜 15:30学術奨励賞候補対象

[C-3_C-4-45] 高精度LiDARを用いたシリコンウエハの屈折率分散の測定

◎山﨑 大樹¹、永田 崇弘¹、張 超^2,3、伊藤 文彦¹、大野 槙悟⁴、中村 篤志⁴、戸毛 邦弘⁴ (1. 島根大、2. 工学院大、3. 東大、4. NTT)

キーワード：

FMCW LiDAR、屈折率

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