[C-6] 電子部品・材料

10:30 〜 10:45

[C-6-03] 高キャリア濃度InN薄膜の可視-近赤外光学特性

〇山田 賢虎¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

半導体、窒化インジウム、エリプソメータ、RFマグネトロンスパッタリング法

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