[C-6] 電子部品・材料

10:45 〜 11:00

[C-6-04] Li₂Oドープアモルファスカーボンのドーピング濃度依存性

〇羽二生 駿太¹、矢島 賢土¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

半導体、アモルファスカーボン、薄膜

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