[C-6] 電子部品・材料

11:00 〜 11:15

[C-6-05] RFマグネトロンスパッタリング法によるCo₃O₄薄膜の作製とp-Co₃O₄/n-Siヘテロ接合の特性

〇伊藤 楓¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

酸化物半導体、太陽電池、RFマグネトロンスパッタリング法、薄膜

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