講演情報
[C-6-07]大気圧化学気相堆積法で成長した酸化物半導体ナノ構造を用いた光検出器の作製とUV光検出特性
〇寺迫 智昭1、堀内 理央1、山田 知哉1、菅原 颯汰2、矢木 正和3 (1. 愛媛大学大学院理工学研究科、2. 愛媛大学工学部、3. 香川高等専門学校)
キーワード：
酸化物半導体、大気圧化学気相堆積法、ナノワイヤー、光検出器
本研究では，AP-CVD法においてVLS成長機構を利用して成長したZnO，β-Ga2O3およびZnGa2O4ナノ構造を用いた抵抗変化型の光検出器の作製とその照射光波長依存性について報告する．