[C-6] 電子部品・材料

11:30 〜 11:45

[C-6-07] 大気圧化学気相堆積法で成長した酸化物半導体ナノ構造を用いた光検出器の作製とUV光検出特性

〇寺迫 智昭¹、堀内 理央¹、山田 知哉¹、菅原 颯汰²、矢木 正和³ (1. 愛媛大学大学院理工学研究科、2. 愛媛大学工学部、3. 香川高等専門学校)

キーワード：

酸化物半導体、大気圧化学気相堆積法、ナノワイヤー、光検出器

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