[IS1] インタラクティブセッション1

[IS1-32] 電子顕微鏡画像における半導体微細構造の楕円フーリエ解析とプロクラステス解析を用いた形状分析

宮田 澪¹、大石 脩人¹、*新田 紀子¹ (1. 高知工科大学)