2024年度電気関係学会東北支部連合大会
ご利用ガイド
メインメニュー
開催情報
お知らせ(1)
タイムテーブル
2024年8月29日 (木)
2024年8月30日 (金)
プログラム
セッション一覧
講演検索
予稿集ダウンロード
詳細検索
トップ
セッション一覧
セッション詳細
講演情報
講演情報
10:00 〜 10:15
[2H01-04-01]
4H-SiC-MOSFETの高性能化のためのゲート絶縁膜形成プロセスと電気特性評価に関する研究
*沖 竜徳
1
、櫻庭 政夫
1,2
、佐藤 茂雄
1,2
(1. 東北大学大学院工学研究科、2. 東北大学電気通信研究所ナノ・スピン実験施設)
PDFダウンロード
セッション詳細へ戻る