Presentation Information
[R3-P-12]Analysing the characteristics of ZnO piezoelectric oscillators for improving the performance of GHz-DAC ultrasonic
*Akira Yoneda1, Ryoma Ishida1, Ryosuke Matsui1, Shuei Akahosi1, Tadashi Kondo1 (1. Osaka Univ.)
Keywords:
GHz-DAC ultrasonics,ZnO piezoelectric element,Indium electrode
GHz-DAC音速法において超音波振動はZnO圧電素子により励起される。この励起効率の改善はGHz-DAC音速法の性能向上に直結する。今回、我々はZnO圧電子に対する最適電極の探索を行った。その結果が参考図である。ZnO圧電子はYAG結晶上にスパッタ成膜される。その境界に基盤電極としてPtが成膜されるがごく薄いので今回の解析では無視している。現在、ZnO膜の上面からインジウム電極を押し当てているが、インジウムよりも音響インピーダンスの高い電極の方が音波発生効率が高いことが分かった。音響インピーダンスを上げる方策として、インジウムと錫、鉛等の合金を検討した。現在、インジウム-錫合金で良好な結果が得られている。今回の解析の詳細、新電極探索法、その結果の詳細などを報告する。
