Presentation Information
[268]Preparation of Ti-doped α-Fe2O3 thin films by sputtering
*Seishi ABE1 (1. Research Institute for Electromagnetic Materials)
Keywords:
無機材料,薄膜,鉄酸化物,ドーピング,電気抵抗率
比較的低濃度のTiを添加した表記の薄膜について検討を行った。その結果、無添加の電気抵抗率は測定範囲を超える高抵抗であるのに対し、Ti濃度の増加と共に減少する傾向を示す。
