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[S9.4][Keynote Lecture] Understanding of transport phenomena in TSSG process of SiC crystal growth by CFD and its optimization by AI

*Okano Yasunori1, Takehara Yuto2 (1. Osaka Univ., 2. Osaka Univ.)

Keywords:

Numerical Simulation,AI,SiC,TSSG,Optimization

TSSG法におけるSiC結晶作製時の移動現象の関する数値解析とAIを用いた最適化に関する演者らの最近の成果について報告する。