Presentation Information
[S9.4][Keynote Lecture] Understanding of transport phenomena in TSSG process of SiC crystal growth by CFD and its optimization by AI
*Okano Yasunori1, Takehara Yuto2 (1. Osaka Univ., 2. Osaka Univ.)
Keywords:
Numerical Simulation,AI,SiC,TSSG,Optimization
TSSG法におけるSiC結晶作製時の移動現象の関する数値解析とAIを用いた最適化に関する演者らの最近の成果について報告する。
