講演情報
[S9.4][基調講演]CFDおよびAIを用いたTSSG法によるSiC結晶作製時の移動現象の解明と最適条件探索
*岡野 泰則1、竹原 悠人2 (1. 阪大基礎工、2. 阪大基礎工(学生))
キーワード:
Numerical Simulation、AI、SiC、TSSG、Optimization
TSSG法におけるSiC結晶作製時の移動現象の関する数値解析とAIを用いた最適化に関する演者らの最近の成果について報告する。
Numerical Simulation、AI、SiC、TSSG、Optimization