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3:50 PM - 4:10 PM JST(6:50 AM - 7:10 AM UTC)

[S9.10]Initial behavior of liquid-phase epitaxial growth of SiC using SiC fine particle-dispersed Si-Cr solvent

*Tomoyuki KASHIMURA¹, Shota YAMAGUCHI¹, Takeshi YOSHIKAWA¹ (1. IIS U.Tokyo)

液相成長,合金溶液,エピタキシー,ナノ粒子

著者らのグループは、SiC微粒子のGibbs-Thomson効果を利用した新たなLPE法を示した．本講演では、SiC微粒子を分散したSi-Cr溶媒からの基板の成長挙動およびバルク液相中の分散SiC微粒子の粒径分布の変化を報告する．