講演情報

15:50 〜 16:10

[S9.10]SiC微粒子分散Si-Cr溶媒を用いたSiCの液相エピタキシャル成長初期挙動

*樫村知之¹、山口彰太¹、吉川健¹ (1. 東大生研)

液相成長、合金溶液、エピタキシー、ナノ粒子

著者らのグループは、SiC微粒子のGibbs-Thomson効果を利用した新たなLPE法を示した．本講演では、SiC微粒子を分散したSi-Cr溶媒からの基板の成長挙動およびバルク液相中の分散SiC微粒子の粒径分布の変化を報告する．