[P] P83~P111

[P95] Characterization of Ti-Ca Films Fabricated by RF Magnetron Sputtering

*Kodai NAKAMURA¹, Yuki Otani², Naoki Takata¹, Hiroki Akasaka³, Junko Hieda¹ (1. Nagoya Univ., 2. Univ. of Hyogo, 3. Science Tokyo)

Keywords:

Ti合金,スパッタリング,水素バリア膜

本研究では水素バリア膜への応用に向け、高周波マグネトロンスパッタ法により作製したTi-Ca膜の構造、力学的特性の評価を行った。膜中のCa濃度の増加とともに結晶性が低下した。