[P] P83~P111

[P95] 高周波マグネトロンスパッタ法で作製したTi-Ca膜の特性評価

*中村 航大¹、大谷 祐貴²、髙田 尚記¹、赤坂 大樹³、稗田 純子¹ (1. 名大院工、2. 兵庫県立大、3. 科学大)

キーワード：

Ti合金、スパッタリング、水素バリア膜

本研究では水素バリア膜への応用に向け、高周波マグネトロンスパッタ法により作製したTi-Ca膜の構造、力学的特性の評価を行った。膜中のCa濃度の増加とともに結晶性が低下した。