[P] P83~P111

[P100] Surface Planarization of Metal Substrates and Pt Film Growth for the Development of Vibration Energy Harvesters

*Ririka IZUMI¹, Masaki NAKANO¹, Hiroyuki OGUCHI¹ (1. Shibaura Institution of Technology)

Keywords:

エナジーハーベスタ,環境発電,振動発電,AlN,金属基板

金属基板の研磨と成膜プロセスの工夫により、Pt(111)面配向膜の形成に近づいた。今後は高耐久・高出力を両立したAlN振動発電素子の開発を進める。