[P] P83~P111

[P100] 振動発電型エナジーハーベスタ開発に向けた金属基板表面平坦化とPt膜成長

*泉 莉々花¹、中野 匡規¹、大口 裕之¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

エナジーハーベスタ、環境発電、振動発電、AlN、金属基板

金属基板の研磨と成膜プロセスの工夫により、Pt(111)面配向膜の形成に近づいた。今後は高耐久・高出力を両立したAlN振動発電素子の開発を進める。