[P] P3~P10

[P9] Synthesis and Characterization of Iron Nitride Nanocrystalline Soft Magnetic Materials

*Rinto SAMATA¹, Takahiro Yamazaki², Masato Kotsugi³ (1. Tokyo University of Science(B), 2. Tokyo University of Science(AP), 3. Tokyo University of Science(P))

Keywords:

窒化鉄,ナノ結晶軟磁性材料

本研究では、反応性スパッタリング機能を新たに構築し、N2ガス分圧を制御することで、窒化鉄ナノ結晶軟磁性材料のアモルファス初相形成と保磁力低減を実現し、磁気特性向上の可能性を示した。