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[P9] 新規窒化鉄ナノ結晶軟磁性材料の創製と特性評価

*佐俣 凜人¹、山崎 貴大²、小嗣 真人³ (1. 東京理科大学（学生）、2. 東京理科大学（助教）、3. 東京理科大学（教授）)

キーワード：

窒化鉄、ナノ結晶軟磁性材料

本研究では、反応性スパッタリング機能を新たに構築し、N2ガス分圧を制御することで、窒化鉄ナノ結晶軟磁性材料のアモルファス初相形成と保磁力低減を実現し、磁気特性向上の可能性を示した。