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原子スペクトル分析 4

Fri. Sep 15, 2023 1:15 PM - 2:00 PM JST
Fri. Sep 15, 2023 4:15 AM - 5:00 AM UTC
A2会場 熊本城ホール
座長:大畑 昌輝(産業技術総合研究所計量標準総合センター)

[3A2-101]トリプル四重極型ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量リン分析時のスペクトル干渉のメカニズムについて

○河野 利哉1、M.B. シャバニー1、橋本 侑宜2 (1. 三菱マテリアル(株)、2. 高純度シリコン(株))

[3A2-102]Triple Q-ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量ホウ素及びリン分析におけるブランクフリー前処理手法の開発

○モハマッド B.シャバニ1、河野 利哉1、橋本 侑宜2 (1. 三菱マテリアル(株)、2. 高純度シリコン(株))

[3A2-103]LA-GED-MSAG-ICPMSを用いた半導体ウェーハ上のナノ粒子汚染分析手法の開発

○鈴木 幸志1、榎本 葉月1、一之瀬 達也1、川端 克彦1 (1. 株式会社イアス)