Presentation Information
[Y1071]ゲート絶縁層にSiO2を用いた海水用ISFET-pHセンサーの開発
○Keisuke Takahashi1, Shoji YAMAMOTO1, Hajime KAYANE2, Akihide HENMI3, Hizuru NAKAJIMA1 (1. 都立大院都市環境, 2. 東大院工, 3. メビウスAT)
Keywords:
海洋酸性化,ISFET,pHセンシング,Ta2O5イオン感応膜
海洋酸性化,ISFET,pHセンシング,Ta2O5イオン感応膜