[1PY01-87] 若手ポスター-1

[Y1071] ゲート絶縁層にSiO₂を用いた海水用ISFET-pHセンサーの開発

○髙橋 啓介¹、山本 将史¹、茅根 創²、辺見 彰秀³、中嶋 秀¹ (1. 都立大院都市環境, 2. 東大院工, 3. メビウスAT)

キーワード：

海洋酸性化、ISFET、pHセンシング、Ta2O5イオン感応膜