Presentation Information
[19a-A309-4]Low-resistance (NH4)xWO3 Nanowire Sensors for Acetone Recognition Operating at Low Voltage with Low Power Consumption
〇Yuki Narita1, Takahisa Tanaka2, Ken Uchida1 (1.Tokyo univ., 2.Keio Univ.)
Keywords:
sensor,oxide semiconductor,nanowire
本研究では，低抵抗(NH4)xWO3ナノワイヤを用いた，低電圧下で駆動する小型低エネルギーアセトンセンサを作製した．従来のWO3アセトンセンサは，高抵抗であるため低電圧下で駆動することは難しく，ヒータを用いた高消費電力センシングを行っていた．今回，NH4+挿入により低抵抗化を行ったことで，低電圧下での十分な自己加熱の発生を実現し，LSIに集積可能な低消費電力アセトンセンサの作製に成功した．