講演情報
[19a-A309-4]低電圧下において低消費電力駆動が可能な低抵抗(NH4)xWO3 ナノワイヤアセトンセンサ
〇成田 雄紀1、田中 貴久2、内田 建1 (1.東大工、2.慶大理工)
キーワード：
センサ,酸化物半導体,ナノワイヤ
本研究では，低抵抗(NH4)xWO3ナノワイヤを用いた，低電圧下で駆動する小型低エネルギーアセトンセンサを作製した．従来のWO3アセトンセンサは，高抵抗であるため低電圧下で駆動することは難しく，ヒータを用いた高消費電力センシングを行っていた．今回，NH4+挿入により低抵抗化を行ったことで，低電圧下での十分な自己加熱の発生を実現し，LSIに集積可能な低消費電力アセトンセンサの作製に成功した．