Presentation Information
[19a-A309-5]Low-energy Hydrogen Sulfide Sensors based on Thermal-aware Design
〇Taro Kato1, Takahisa Tanaka2, Ken Uchida1 (1.The Univ. of Tokyo, 2.Keio Univ.)
Keywords:
nanosheet,gas sensor,hydrogen sulfide
金属ナノシートを用いたガスセンサはジュール熱を用いて低エネルギーで動作可能であるが，既報のPtナノシートセンサやPtRhセンサではジュール加熱動作時にセンサ応答が低いという問題があった．今回，ジュール自己加熱センサのデバイス熱設計を行い，低絵熱伝導率材料を電極に用いることでヒータ加熱型と同程度のセンサ応答を示す低エネルギーセンシングを実現した．