講演情報
[19a-A309-5]熱配慮設計に基づいた低エネルギー硫化水素センサ
〇加藤 太朗1、田中 貴久2、内田 建1 (1.東大工、2.慶應理工)
キーワード：
ナノシート,ガスセンサ,硫化水素
金属ナノシートを用いたガスセンサはジュール熱を用いて低エネルギーで動作可能であるが，既報のPtナノシートセンサやPtRhセンサではジュール加熱動作時にセンサ応答が低いという問題があった．今回，ジュール自己加熱センサのデバイス熱設計を行い，低絵熱伝導率材料を電極に用いることでヒータ加熱型と同程度のセンサ応答を示す低エネルギーセンシングを実現した．