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[19p-P02-6]Optimal Design of Ion Beam Extraction System by Numerical Simulation

〇Masaya Ueda¹, Kazuki Sakamoto¹, Shinya Matsutomo¹, Toyohisa Asaji¹ (1.Niihama KOSEN)

Ion Beam,Optimal Design,Genetic Algorithm

本研究の目的は、数値シミュレーションを利用してイオン注入装置におけるイオンビーム引き出し系の最適化設計を行うものである。特に、本研究では遺伝的アルゴリズムを活用した完全自動計算での最適化設計を試みており、その結果を報告する。