講演情報
[19p-P02-6]数値シミュレーションによるイオンビーム引き出し系の最適化設計
〇上田 雅也1、坂本 和輝1、松友 真哉1、浅地 豊久1 (1.新居浜高専)
キーワード:
イオンビーム,最適化設計,遺伝的アルゴリズム
本研究の目的は、数値シミュレーションを利用してイオン注入装置におけるイオンビーム引き出し系の最適化設計を行うものである。特に、本研究では遺伝的アルゴリズムを活用した完全自動計算での最適化設計を試みており、その結果を報告する。
イオンビーム,最適化設計,遺伝的アルゴリズム