[20a-A301-1~11] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

11:45 AM - 12:00 PM JST(2:45 AM - 3:00 AM UTC)

[20a-A301-11] Yield Evaluation of acceleration sensor fabricated by Minimal Fab

〇Hiroshige Kogayu¹, Hiroyuki Tanaka², Fumito Imura³, Takashi Yajima¹, Shiro Hara^1,2,3 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Hundred)

Keywords:

MINIMAL,MEMS,Yield

MEMS歩留の確認方法としてピエゾ抵抗型カンチレバーをウェハに16個配置して、個別にパッケージせずにウェハをダイレクトに基板に実装した。前回は静的な重力による歪み測定を行なったが、
今回は加振器によりウェハ内のおもりを振動させて加速度を発生させ、歪み量の測定を行なった。簡便なウェハレベルの実装でも加振器による測定で歪み特性を得ることができ、歩留を確認できることが分かった。