[20a-A501-1~8] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[20a-A501-3] Formation of Silicone Microcup Array Structures with Entrapped Ionic Liquids

〇Masayuki Okoshi¹, Kaede Iwasaki¹ (1.NDA)

Keywords:

microcup,silicone,ionic liquid

シリカ微小球が単層整列したシリコーンゴムに、波長193 nmのArFエキシマレーザーを照射することにより、微小球下のシリコーンゴムの主鎖構造（Si-O-Si結合）を光開裂させ、低分子量化による周期的な微細隆起構造が光化学的に形成できるとともに、微細隆起構造先端部に半球状のマイクロカップ構造も形成可能であることを明らかにした。また、マイクロカップ構造にイオン液体を捕獲し電子顕微鏡観察下で非流動化する可能性について検討した。