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[20a-B202-7]Growth Mechanisms of Self–Assembling Si–QDs on Thermally–Grown SiO2

〇(M1)Jongeun Baek1, Yuki Imai1, Ryoya Tsuji1, Katsunori Makihara1, Seiichi Miyazaki1 (1.Nagoya Univ.)

Keywords:

Quantum dots

as-grown SiO2表面において、Si量子ドット形成における基板温度がドット形状に及ぼす影響をAFMおよびSEMにより評価