[20a-B202-1~10] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

10:45 〜 11:00

[20a-B202-7] 熱酸化SiO₂上へ自己組織化形成したSi量子ドットの成長機構

〇(M1)白 鍾銀¹、今井 友貴¹、辻 綾哉¹、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：

量子ドット

as-grown SiO₂表面において、Si量子ドット形成における基板温度がドット形状に及ぼす影響をAFMおよびSEMにより評価