Presentation Information
[20a-B205-9]Fabrication of high quality ultra-shallow holes and lines with single-shot picosecond laser pulse
〇Keisuke Sota1, Kota Ando1, Heishun Zen1, Toshiteru Kii1, Hideaki Ohgaki1, Takashi Nakajima1 (1.Kyoto Univ.)
Keywords:
laser processing
フェムト秒やピコ秒パルスの単一照射で穴加工した場合にはこのリムの発生はかなり抑制できるが，多重照射による穴加工の場合にはやはりリムは発生する．ライン加工の場合にはさらに顕著なリムが発生する．本公演では，リムの発生を抑制する方法として，我々は金属基板ではなく，厚さ数10 nm程度の金属膜を蒸着した金属基板を用いる方法について報告する．