講演情報
[20a-B205-9]ピコ秒レーザーパルス照射による高品質極浅穴およびラインの作製
〇曽田 圭亮1、安東 航太1、全 炳俊1、紀井 俊輝1、大垣 英明1、中嶋 隆1 (1.京大エネ研)
キーワード：
レーザー加工
フェムト秒やピコ秒パルスの単一照射で穴加工した場合にはこのリムの発生はかなり抑制できるが，多重照射による穴加工の場合にはやはりリムは発生する．ライン加工の場合にはさらに顕著なリムが発生する．本公演では，リムの発生を抑制する方法として，我々は金属基板ではなく，厚さ数10 nm程度の金属膜を蒸着した金属基板を用いる方法について報告する．