[20a-P01-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

[20a-P01-7] Study of growth direction distribution of chemical bonding states in amorphous carbon nitride thin films for photoinduced deformation phenomenon

〇Masami Aono¹, Hiromi Shima², Keiji Komatsu³, Yohei Sato⁴, Masami Terauchi⁴ (1.Kagoshima Univ., 2.NDA, 3.Nagaoka Univ., 4.IMRAM Tohoku Univ.)

Keywords:

amorphous carbon nitride,thin films,chemical bonding structure

スパッタ法で作製されたアモルファス窒化炭素薄膜の膜厚方向の化学結合状態、密度の均一性について、軟X線発光分光法、X線光電子分光法、X線反射率法、分光エリプソメトリーを用いて調べ、光誘起変形との関連を調べた。